微电子超纯水硅硼

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微电子行业对超纯水的要求很高，其中硅硼的要求也非常高（如：总硅<1ppb,硼<0.05ppb）。通常见到的工艺也就是：2B3T+RO+MB+抛光混床+终端UF。请问对于这样的要求，原水中硅硼含量为多少的时候在工艺上需要进行特殊的处理？具体的处理工艺是什么？谢谢了！

老人

这个业主会给你说的！

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老人 发表于 2017-7-26 10:45
这个业主会给你说的！

业主好多时候也不清楚的。。。。。。

老人

自已需要的水质都不清楚？

杜笙离子树脂

你现在电阻率达到多少了？按照你所说的，现在出水中含硅硼，含量肯定超标的不高，去除的话只能用电阻率18兆以上的抛光树脂。

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老人 发表于 2017-7-26 10:56
自已需要的水质都不清楚？

自己需要的出水水质很明确，但是问的是“原水”硅硼是多少的时候要专门针对性的处理，以免造成终端硅硼超标。

WWT-UPW

杜笙离子树脂 发表于 2017-7-26 11:04
你现在电阻率达到多少了？按照你所说的，现在出水中含硅硼，含量肯定超标的不高，去除的话只能用电阻率18兆 ...

出水电阻率通常都能到18M，抛光混床用的是6040。现在的问题是：“原水”硅硼多少浓度的时候要对这两个指标做针对性的处理？

杜笙离子树脂

WWT-UPW 发表于 2017-7-26 11:16
出水电阻率通常都能到18M，抛光混床用的是6040。现在的问题是：“原水”硅硼多少浓度的时候要对这两个指 ...

你所说的原水，是进混床之前的水质是吗？还是说没有经过任何工艺处理前的水，我之前接触过硼超标的项目，客户硼是从几个PPB级别做到达标的。而且一般出现硅硼超标是，电阻率只有几兆欧的情况下，你做到18兆的电阻率，应该没有超标了才对。

WWT-UPW

杜笙离子树脂 发表于 2017-7-26 11:23
你所说的原水，是进混床之前的水质是吗？还是说没有经过任何工艺处理前的水，我之前接触过硼超标的项目， ...

我这里说的是设计产水18.2M。一般生活饮用水要求硼<0.5mg/L。有时纯水系统的原水会取部分回用水或其它水做水源，原水硼有可能高过0.5，那么原水硼高到多少的时候需要对硼针对性的处理工艺呢？另外，贵公司的除硼树脂是用在哪个工艺段？谢谢指教。

杜笙离子树脂

WWT-UPW 发表于 2017-7-26 12:51
我这里说的是设计产水18.2M。一般生活饮用水要求硼

除硼树脂一般用在过抛光之前，至于硼的含量多高的时候去除，假如你那边业主的要求需要硼小于0.5ppm，那么就必须把硼的含量控制在0.5之内。

放牛班班长

你问问他们那边的原水含多少呢？

寂寞

去查查标准吧，超纯水水质有关于这方面的要求。

老人

WWT-UPW 发表于 2017-7-26 11:11
自己需要的出水水质很明确，但是问的是“原水”硅硼是多少的时候要专门针对性的处理，以免造成终端硅硼超 ...

用反渗透处理后还剩多少？

曦曦

寻求5ppt的除B技术，RO加碱测试过，除B树脂也换了几家，表示无解。

WWT-UPW

嘻嘻曦 发表于 2017-12-10 01:13
寻求5ppt的除B技术，RO加碱测试过，除B树脂也换了几家，表示无解。

你确认是5bbt?执行的是啥标准，要求那么高？

曦曦

WWT-UPW 发表于 2017-12-10 09:26
你确认是5bbt?执行的是啥标准，要求那么高？

半导体7nm制程技术配套需求啊，现在追求一般离子小于1ppt（不是ppb哦），这种较难去除的离子要小于5ppt，水中的颗粒目前已经开始追求10nm的了，不然怎么追求7nm的半导体制程技术。

曦曦

两级RO可以B除到10ppb，EDI可以轻松除到50ppt了，再加到可以忽悠人的除B树脂，寿命极短（估计一个月，可以把B拉到20ppt以下，然后，就没然后了，时间长了还反析出），阴阳混床的除B能力可以忽略。
别问我怎么知道的，我专门把几路的水，直接用管线拉到实验室，用ICPMC-8800直接分析，避免取样环节污染。
RO加药建议不要轻易尝试，加了NaOH,RO产水Na,K离子直接彪上百ppb，对后端损害很大，而且这种数量级的除B数据我试过基本没有效果。
坐等专家指教。

WWT-UPW

嘻嘻曦 发表于 2017-12-10 10:48
两级RO可以B除到10ppb，EDI可以轻松除到50ppt了，再加到可以忽悠人的除B树脂，寿命极短（估计一个月，可以 ...

看你的描述，你的UPW系统是2级RO+EDI+MDG+TOC-UV+polishing MB+UF吗？

曦曦

WWT-UPW 发表于 2017-12-11 10:36
看你的描述，你的UPW系统是2级RO+EDI+MDG+TOC-UV+polishing MB+UF吗？

是的 ，当然厂家和品牌就不能说了，涉及企业的机密

WWT-UPW

曦曦 发表于 2017-12-11 11:25
是的 ，当然厂家和品牌就不能说了，涉及企业的机密

你们的原水硼多少啊？另外，你们的除硼树脂是放在工艺段的哪个位置？RO加碱是在第2级RO入口吧？