超纯水设备助力半导体元器件高质量生产

莱特莱德

　　电子元器件作为核心基础零部件，是战略性新兴产业发展的重点领域之一，也是支撑新兴产业发展的重点基础产品。近年来，电子元器件产业发展势头迅猛，产业规模与质量效益同步实现，为经济发展提供了强劲动力。

　　电子元器件产业链的上游是原材料，主要包括光电材料、半导体材料、磁性材料等。在半导体生产中，超纯水用于晶圆冲洗、化学稀释、化工机械研磨、洁净室环境的加湿等多种场合，超纯水的质量直接关系到半导体的良品率。超纯水设备采用独特的靶向离子交换系统去除超纯水中的硼离子，可以将硼离子含量稳定的控制在3PPT以下，采用独有工艺可以控制在1PPT以下，同时连续稳定地生产高纯度的超纯水。目前广泛应用于晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀、试剂稀释、氟化工等领域。

　　超纯水设备是将反渗透系统、EDI装置和抛光混床工艺，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度。超纯水设备的EDI处理装置废水产出量少，不会对环境造成污染，具有非常高的环境效益和经济效益。精混床经过技术升级后，无需任何操作即可稳定运行，出水水质可以满足芯片生产用水的相关标准，降低企业的生产成本。

　　

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超纯水设备产出超纯水满足ASTM D5127-13中E1.3水质指标，符合半导体元器件生产用水需求。莱特莱德超纯水设备可以连续稳定地制备品质优良的超纯水，助力半导体企业的发展，从而帮助企业提高市场竞争力。