超纯水设备成为半导体行业制胜法宝

莱特莱德

　　电子元器件作为核心基础零部件，是战略性新兴产业发展的重点领域之一，也是支撑新兴产业发展的重点基础产品。近年来，电子元器件产业发展势头迅猛，产业规模与质量效益同步实现，为经济发展提供了强劲动力。

　　电子元器件产业链的上游是原材料，主要包括光电材料、半导体材料、磁性材料等。在半导体生产中，超纯水用于晶圆冲洗、化学稀释、化工机械研磨、洁净室环境的加湿等多种场合，超纯水的质量直接关系到半导体的良品率。莱特莱德超纯水设备采用独特的靶向离子交换系统去除超纯水中的硼离子，可以将硼离子含量稳定的控制在3PPT以下，采用独有工艺可以控制在1PPT以下，同时连续稳定地生产高纯度的超纯水。目前广泛应用于晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀、试剂稀释、氟化工等领域。

　　莱特莱德超纯水设备是将反渗透系统、EDI装置和抛光混床工艺，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度。超纯水设备的EDI处理装置废水产出量少，不会对环境造成污染，具有非常高的环境效益和经济效益。精混床经过技术升级后，无需任何操作即可稳定运行，出水水质可以满足芯片生产用水的相关标准，降低企业的生产成本。

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与传统方法相比，具有运行费用低(离子交换器的再生周期大大延长)，运行可靠。超纯水设备出水水质符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2，高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。