硅材料清洗水水质要求

hong6601

硅材料清洗水水质要求，也就是硅片的前段工序。

齐齐001

我也正找这个东西呢， 谢谢三楼提供。

hong6601

怎么没有人回复我呢。。。

jack2818

发个半导体超纯水水质标准，可根据半导体厂家实际产品参考选择合适的水质标准要求： §§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§§ 微电子工业水质标准

	LED(TFT)	256K DRAM	1M DRAM	4M DRAM	16M DRAM	64M DRAM
线宽度(um)	-	1.4 - 1.8	0.8 - 1.0	0.4 - 0.6	0.2 - 0.3	0.1
电阻率 （Mohm,25℃）	>18.0	>17.5	>18.0	>18.0	>18.1	>18.1
TOC（ppb）	<20	<100	<30	<10	<3	<1
微粒（No./ml）	(0.1μ) <10/ml	(0.2μ) <50/ml	(0.1μ) <10/ml	(0.05μ) <30/ml	(0.03μ) <10/ml	(0.03μ) <5/ml
细菌（CFU/ml）	<1/100	<10/100	<1/100	<5/1000	<5/1000	<5/1000
溶解氧（ppb）	<50	<100	<100	<50	<5	<3
二氧化硅（ppb）	<5	<10	<5	<3	<1	<0.5
硼（ppb）	-	-	<2	0.05	0.05	0.05
钠（ppb）	<0.1	<0.2	<0.1	<0.1	0.05	0.01
钾（ppb）	<0.1	<0.3	<0.1	<0.1	0.05	0.02
锌（ppb）	<0.05	<0.1	<0.05	<0.05	0.02	0.02
铁（ppb）	<0.05		<0.05	<0.05	0.02	0.02
铜（ppb）	<0.05		<0.05	<0.05	0.005	0.005
氯化物（ppb）	<0.1	<0.2	<0.1	0.1	0.02	0.02
溴化物（ppb）		<0.1	<0.1	0.05	0.02	0.02
硝酸盐（ppb）		<0.1	<0.1	0.05	0.02	0.02
硫酸盐（ppb）		0.1	<0.2	0.05	0.05	0.05
不溶残渣（ppb）		<0.3	0.1	0.05	0.05	0.05

也可参考一下下面链接的标准： http://www.chinacitywater.org/bbs/viewthread.php?tid=44039&extra=page%3D2 [ 本帖最后由 jack2818 于 2008-1-6 11:49 编辑 ]

hong6601

现在客户给了一个明确的水质要求，主要对电阻率以及颗粒物还有二氧化硅等有具体的要求。

wulixin12

我现在正在负责硅材料冲洗水的回用项目

ymwatcher

很有价值的资料，收藏了，谢谢楼主的奉献，楼主加油。。。。