微电子超纯水硅硼

WWT-UPW

微电子行业对超纯水的要求很高，其中硅硼的要求也非常高（如：总硅<1ppb,硼<0.05ppb）。通常见到的工艺也就是：2B3T+RO+MB+抛光混床+终端UF。请问对于这样的要求，原水中硅硼含量为多少的时候在工艺上需要进行特殊的处理？具体的处理工艺是什么？谢谢了！

萝卜之印

曦曦 发表于 2017-12-11 19:42
是的，除B树脂在EDI产水后进纯水箱前，加药口是二级RO前。

除硼树脂放在EDI的产品水出水和放在抛光混床的进水侧，区别或者对水质的影响大么

WWT-UPW

曦曦 发表于 2017-12-12 14:07
是的 弄得怀疑人生

抛光混床也没有一点除B效果？一直是这样的吗？

虎妞

曦曦 发表于 2017-12-12 14:16
呵呵  一句话  这个树脂不行而已，进水50ppt的水叫不行，那什么水行？

对树脂不了解，就不妄作评价了。。。

曦曦

虎妞 发表于 2017-12-12 14:13
再生周期取决于水质，抛开数据谈再生周期不是耍流氓么？

呵呵  一句话  这个树脂不行而已，进水50ppt的水叫不行，那什么水行？

虎妞

曦曦 发表于 2017-12-12 13:15
这个再生1-2个月再生，企业受不了的

再生周期取决于水质，抛开数据谈再生周期不是耍流氓么？

曦曦

WWT-UPW 发表于 2017-12-12 13:21
原水500ppt(0.5ppb)，这么好的自来水？

是的 弄得怀疑人生  

WWT-UPW

曦曦 发表于 2017-12-11 22:12
重新查了下历史数据，不好意思，把Na看成B了，B元素数据以下，原水是500ppt(难以置信！)，RO产水60ppt，E ...

原水500ppt(0.5ppb)，这么好的自来水？

杜笙离子树脂

曦曦 发表于 2017-12-12 13:15
这个再生1-2个月再生，企业受不了的

是上海的一个除硼项目把？闹得满城风雨的

曦曦

虎妞 发表于 2017-12-12 13:02
那就是树脂该再生了呗

这个再生1-2个月再生，企业受不了的

虎妞

曦曦 发表于 2017-12-12 10:29
一开始有，可以拉到10个以下，一两个月后面就升回来了

那就是树脂该再生了呗

老人

虎妞 发表于 2017-12-12 10:13
一般海水里的硼含量是比较高的，其他常规水源应该不可能比这个再高了。
记得曾经做过一个方案，硼含量在 ...

没有说不妥！如果按他的要求，这个工艺中用的是自来水，达到饮用水标准这个工艺也难达到他的要求！

曦曦

WWT-UPW 发表于 2017-12-12 10:14
除B树脂居然一点去除率也没有？？？

一开始有，可以拉到10个以下，一两个月后面就升回来了

WWT-UPW

曦曦 发表于 2017-12-11 22:12
重新查了下历史数据，不好意思，把Na看成B了，B元素数据以下，原水是500ppt(难以置信！)，RO产水60ppt，E ...

除B树脂居然一点去除率也没有？？？

虎妞

老人 发表于 2017-12-12 09:53
原水不知道，剩多少也不知道！

一般海水里的硼含量是比较高的，其他常规水源应该不可能比这个再高了。
记得曾经做过一个方案，硼含量在4~5ppm，我用了两级RO，且选了特殊的膜，才勉强做到0.3ppm以下。
这还是初始状态，随着脱盐率的衰减，不晓得会升高到多少。
基于这个前提，我回答了您的那个提问，并没有什么不妥。

虎妞

WWT-UPW 发表于 2017-12-12 09:49
虎妹妹，他的原水是自来水，自来水要求B是小于0.5ppm的。不是你常搞的海水。

既没说水源，更没说水质参数，我只能从常规判断了。
而且，郭嘉自来水标准中并无对B的要求。
欧盟的标准是1ppm，WHO的标准是0.3ppm

另外，不喜欢“虎妹妹”这个称呼，下次不要叫了。

老人

WWT-UPW 发表于 2017-12-12 09:31
他的要求是5ppt，也就是0.005ppb

不是呀，是0.05ppb

老人

虎妞 发表于 2017-12-12 09:30
我又没说RO可以满足要求，只是回答您的提问“用反渗透处理后还剩多少？”而已。。。

原水不知道，剩多少也不知道！

WWT-UPW

虎妞 发表于 2017-12-11 20:27
和原水的硼含量有关，也和用的RO膜型号有关。
一般情况下，二级RO可以做到1ppm以下，满足饮用水要求（有 ...

虎妹妹，他的原水是自来水，自来水要求B是小于0.5ppm的。不是你常搞的海水。

WWT-UPW

老人 发表于 2017-12-12 09:19
他要求的是0.05ppb以下！

他的要求是5ppt，也就是0.005ppb